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DGO: 双栅氧化层
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GOX: 栅氧化层
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FLOTOX: 浮栅隧道氧化层
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GOI: 栅氧化层完整性
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GOS: 栅氧化短
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DIFMOS: 双注浮栅金属氧化物半导体
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NOL: 纳米氧化层
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OBD: 氧化层击穿
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DL: 双电层
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EOT: 等效氧化层厚度
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EOT: 电氧化层厚度
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